近日從中國建筑材料科學(xué)研究總院（以下簡稱建材總院）獲悉，基于光刻用石英玻璃基板（以下簡稱石英玻璃基板）綠色制造技術(shù)，建材總院石英院在衢州建立了國內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進(jìn)口的局面。
該生產(chǎn)線的建立，是建材總院承擔(dān)的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。
石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件，市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好、光學(xué)均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點(diǎn)。然而，受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約，我國石英玻璃基板長期依賴進(jìn)口。
作為我國唯一專業(yè)從事石英玻璃研究的科研院所，建材總院石英院科研人員經(jīng)不懈努力，形成一套符合我國行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢的獨(dú)有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題，同時實現(xiàn)了原材料綠色制造；引入多刀切割、安全快速磨拋工藝，創(chuàng)造性地開發(fā)了熔拉制坯、數(shù)控倒角等技術(shù)，解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產(chǎn)品加工，該院形成專利20余項，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國軍標(biāo)及國家標(biāo)準(zhǔn)10余項，開發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產(chǎn)品，不僅逐步替代進(jìn)口，而且出口歐洲、日本等國。
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